Test verschillende systemen voor koelwaterbehandeling

ASML Holding N.V. is een vooraanstaand Nederlands bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van geavanceerde lithografische apparatuur voor de halfgeleiderindustrie.

Het verkleinen van de ecologische voetafdruk is essentieel voor ASML. Aangezien een groot deel van het waterverbruik aan koeling ten deel ligt, zijn er binnen ASML verschillende systemen voor koelwaterbehandeling getest.

Deze technieken en methodes hebben anderhalf jaar naast elkaar gedraaid op verschillende maar gelijkwaardige capaciteiten en temperaturen.  In deze periode heeft men 2-wekelijks een watermonster genomen en geanalyseerd op het volgende:

Zuurgraad

Elektrisch geleidingsvermogen, 20°C

Calcium (ICP-MS)

Magnesium (ICP-MS)

Waterstofcarbonaat

IJzer (ICP-MS)

Koper (ICP-MS)

Zink (ICP-MS)

Starttarief ICP-MS

Totaal organisch koolstof (TOC)

Chloride

Orthofosfaat, gefiltreerd (DA)

Legionella (matrix B – MWY medium)

Koloniegetal 22 °C

Dit proces is gevolgd door twee adviesbureaus (Royal Haskoning DHV en KWA), de verantwoordelijke installateur Equans, studenten van de TU/e en uiteraard ASML zelf. Hiervan is een rapportage gemaakt waarbij de technieken op verschillende details vergeleken zijn waarbij de kwaliteit en continuïteit prioriteit hadden.  

Visuele inspectie

Ook zijn er vanuit vaste punten foto’s genomen om visueel de ontwikkeling (afzetting en vervuiling) te kunnen volgen, alsmede testen op corrosie coupons:

Vragen?

Stuur ons een berichtje als je nog vragen hebt naar aanleiding van deze pilot.